傳統的機械加工(gōng)方法(普通加工(gōng))與精密和超精密加工(gōng)方法一(yī)樣。随着新技術、新工(gōng)藝、新設備以及新的測試技術和儀器的采用,其加工(gōng)精度都在不斷地提高。
加工(gōng)精度的不斷提高,反映了加工(gōng)工(gōng)件時材料的分(fēn)割水平不斷由宏觀進入微觀世界的發展趨勢。随着時間的進展,原來認爲是難以達到的加工(gōng)精度會變得相對容易。因此,普通加工(gōng)、精密加工(gōng)和超精密加工(gōng)隻是一(yī)個相對概念?其間的界限随着時間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工(gōng)的典型代表是金剛石切削。
以金剛石切削爲例。其刀刃口圓弧半徑一(yī)直在向更小(xiǎo)的方向發展。因爲它的大(dà)小(xiǎo)直接影響到被加工(gōng)表面的粗糙度,與光學鏡面的反射率直接有關,對儀器設備的反射率要求越來越高。如激光陀螺反射鏡的反射率已提出要達到99.99%,這就必然要求金剛石刀具更加鋒利。爲了進行切極薄試驗,目标是達到切屑厚度nm,其刀具刃口圓弧半徑應趨近2.4nm。爲了達到這個高度,促使金剛石研磨機改變了傳統的結構。其中(zhōng)主軸軸承采用了空氣軸承作爲支承,研磨盤的端面跳動可在機床上自行修正,使其端面跳動控制在0.5μm以下(xià)。
刀具方面,采用金剛石砂輪,控制背吃刀量和進給量,在超精密磨床上,可以進行延性方式磨削,即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學鏡面。2精密加工(gōng)和超精密加工(gōng)的發展趨勢從長遠發展的觀點來看,制造技術是當前世界各國發展國民經濟的主攻方向和戰略決策,是一(yī)個國家經濟發展的重要手段之一(yī),同時又(yòu)是一(yī)個國家獨立自主、繁榮昌盛、經濟上持續穩定發展、科技上保持領先的長遠大(dà)計。科技的發展對精密加工(gōng)和超精密加工(gōng)技術也提出了更高的要求。從大(dà)到天體(tǐ)望遠鏡的透鏡,小(xiǎo)到大(dà)規模集成電(diàn)路線寬μm要求的微細工(gōng)程和微機械的微納米尺寸零件,不論體(tǐ)積大(dà)小(xiǎo),其最高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益複雜(zá)化,各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。微機械技術爲超精密制造技術引來一(yī)種嶄新的态勢?它的微細程度使傳統的制造技術面臨一(yī)種新的挑戰,促進了各種産品技術性能的提高,發展過程呈現出螺旋式循環發展,直接對科學技術的進步和人類文明作出貢獻。對産品高質量、小(xiǎo)型化、高可靠性和高性能的追求,使超精密加工(gōng)技術得以迅速發展,現已成爲現代制造工(gōng)業的重要組成部分(fēn)
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